Introduzione di base del sensore di pressione MEMS
Il sensore di pressione MEMS è un elemento a film sottile che si deforma quando sottoposto a pressione. Il misuratore di deformazione (rilevamento piezoresistivo) può essere usato per misurare questa deformazione, oppure può essere misurato rilevando capacitivo il cambiamento nella distanza tra le due superfici. Questi due metodi sono molto popolari e il sistema di monitoraggio della pressione degli pneumatici utilizza un metodo piezoresistive più robusto.